技术编号:3808221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种在二氧化碳环境中旋涂制膜设备,特别是涉及一种高压二氧 化碳超临界旋涂成膜系统。背景技术微电子机械系统(MEMS)是近年来迅速发展起来的一项高新技术,它是指用微细 加工技术制作的微型电子机械器件、装置与系统。在MEMS加工工艺中,需要经常生长 各种性能的薄膜,传统的薄膜制备都是借用集成电路(IC)制造工艺,如物理法的溅射、 蒸发,化学法的气象淀积、外延生长等。利用这些方法可以制备各种性能的薄膜,然 而,针对服MS器件的特殊性,对薄膜的应力要...
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