技术编号：3816286
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 背景技术稀土氧化物可以作为玻璃的高效优质抛光材料，其抛光效率高、适用范围广、使用 寿命长等优异性，泛应用于光学元件、眼镜、LCD、工业仪表等领域精密玻璃抛光和超大规模 集成电路二氧化硅介质层的化学机械抛光。稀土抛光粉是一种混合轻稀土氧化物，主要成 分是CeO2, La2O3, Pr6O11, Nd2O3等。我国生产的稀土抛光粉以低档次抛光粉较多，生产规模 小，产品均一性差。在要求较高的器件抛光上仍需要依赖进口高档抛光粉，抛光粉的抛光性 能与形貌...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。