技术编号：38179
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型是一种真空绝热板生产用抽真空系统，包括通过真空管道依次串联的真空室、罗茨泵、扩散泵和机械泵组，所述机械泵组由2-4台机械泵并联构成，在罗茨泵的进排气口、扩散泵的进排气口均通过波纹管与真空管道相连。本实用新型通过将机械泵、罗茨泵、扩散泵和真空腔多级串联，真空腔的真空度在10分钟之内即能达到为0.01Pa，大大的提高了设备的极限真空度；通过将数个机械泵并联，可降低抽真空时间，提高生产效率；在罗茨泵的进排气口、扩散泵的进排气口均通过波纹管与真空管道相连，可以防止真空泵组的震动对系统产生的影响。专利说明一...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。