技术编号：3820663
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密机械，特别涉及一种厚胶膜精密整平装置。 背景技术微细尺度零部件(如微流道、微探针、微反应池等)和微细尺度金属模具(如微齿轮模具等)在微机械、航空航天、医药、仪器仪表等领域有着广泛而又关键性应用，而其高质量制造一直是微细与精密制造界的技术难点之一。LIGA(德文Lithographie，Galanoformung 和Abformung三个词，即光刻、电铸和注塑的缩写)、UV (紫外光)-LIGA和Laser(激光)_LIGA 等技术是目前承载这...
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