技术编号：3820681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、PDP用玻璃基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板或半导体制造装置用掩模基板等基板上涂敷涂敷液的涂敷装置。背景技术在这样的涂敷装置中采用了如下的结构，S卩，在将基板装载在工作台上的状态下， 从形成有横跨基板的宽度方向的狭缝的狭缝喷嘴向基板的表面喷出涂敷液，并且通过使该狭缝喷嘴与装载在工作台上的基板相对移动，向基板的表面涂敷涂敷液(参照专利文献1 和专利文献2)。专利文献1 JP特开2001-31...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。