半导体器件生产用膜、半导体器件生产用膜的生产方法和半导体器件的生产方法技术资料下载

技术编号:3821545

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本发明涉及。背景技术近年来,日益要求半导体器件及其封装的薄型化和小型化。因此,作为半导体器件及其封装,已经广泛地利用其中将半导体元件如半导体芯片通过倒装芯片接合(倒装芯片连接的)安装至基板上的倒装芯片型半导体器件。在此类倒装芯片连接中,半导体芯片以其中半导体芯片的电路面与基板的电极形成面相对的形式固定至基板。在这类半导体器件等中,存在其中半导体芯片的背面受保护膜保护以防止半导体芯片损坏等的情况(参见专利文献1至10)。专利文献1 JP-A-2008-166...
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