技术编号：39493
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，是由墙体、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、短加热模块、短加热模块正极、短加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出孔、定位器构成；加热的结构及其方法简单，设计科学合理，使用方便、操作容易快捷；确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，节能环保。专利说明一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置 技术...
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