技术编号:3989029
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种数字压力传感器,特别涉及一种利用环形振荡器和硅梁结构的环形振荡器式数字压力传感器。本发明还涉及上述传感器的制作方法。背景技术 汽车安全已变得越来越重要,“轮胎压力监测报警系统(TPMS)”是继安全带和安全气囊之后美国为汽车安全第三次立法。现有的轮胎压力监测报警系统一般使用的都是模拟传感器,精确度、反应速度都不佳,并且工作状态受温度变化的影响。数字化是当今时代的一个特征,轮胎压力监测报警系统(TPMS)中的核心器件的压力传感器的数字化是很多人希...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。