技术编号:39923723
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及半导体设备,具体涉及一种驱动座的开放孔抛光工装。背景技术、医疗行业中加速器是通过微型电机驱动带动多页光栅形成一定照射形状,通过射线消灭变异细胞来治疗,其中光栅的叶片有两种带动方式,一种是通过丝杆和电机直接驱动,另外一种是通过电机丝杆驱动驱动滑块,由驱动滑块带动叶片的间接驱动,而为了提高驱动的稳定性以及减少叶片的磨损,优先采用驱动滑块间接驱动。具体方案是设置驱动座,驱动座上加工有开放孔,驱动滑块在开放孔内运动,但是通过驱动滑块驱动有个技术难点,驱动滑块在开放孔中很难保持运动的顺畅性,从...
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