技术编号：4005732
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种搬出用物品与搬入用物品的交接方法以及用于实 施该方法的装置，该搬出用物品装载于设置在沿悬挂式升降搬运台车(以下称之为"OHT (Overhead Hoist Transport)的工序内以及工序间 环状轨道的规定处，对插拔自如地收纳于物品(FOUP (Front—Opening Unified Pod)等)内的衬底(晶片、液晶板等)进行各种处理(清洗、 CVD (Chemical Vapor Deposition)除外)的工作台(以下称之为"...
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