技术编号：4038315
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种能有效节省车间空间的石墨舟冷却卸片推车，尤其是能将冷却与卸片同时完成。技术背景目前，公知的PE卸片推车只是起到一个简单的运输流转车的作用，它的作用是将从PECVD炉管中镀膜后的硅片放于卸片台，推到独立冷却系统中进行冷却。冷却之后再将推车送至卸片台处进行卸片工作，从冷却到卸片，需要两个装置，即硅片冷却系统和卸片台，这两种装置在车间占用了很大的空间，而且从卸片台到冷却装置涉及到搬运及流转的动作及时间上的浪费。发明内容为了克服现有的卸片台存在的...
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