技术编号：4054042
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在受控方式下同时生长一个或多个纳米观结构的方法和装置。背景技术 纳米技术、纳米电子学和纳米生物学是快速增长的研究和发展领域，预期它们将导致未来岁月许多重要的发现和发展。纳米技术中的一个主要问题是如何在大的基片或工件上以快捷可靠的方式生长或刻蚀0.1-50nm尺寸的纳米结构。近来已发现在配有电子蚀刻设备和其他生长仪器的任何标准洁净房间内能够在几个平方微米的很小面积上使用非常消耗时间的程序实施这件事。在表面上分辨纳米和微结构的标准方法已成为光学蚀...
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