技术编号：4099335
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶圓运输装置，特别涉及一种具有活动搁板的晶圆运输车。 背景技木随着晶圆尺寸从8寸增加到12寸，用于放置晶圆的前开式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越来越大，使得晶盒的重量不断增加， 一个载满晶圆的 FOUP的重量约为9.8Kg。如果这些物料都是自动作业的话，那么这种尺寸及重 量的增加可能不会引起任何重大的人体生物工程风险。但是，全自动化作业是 不能完全实现的，因此不可避免地还是存在人工搬运的情况，例如芯片测量、 将晶盒搬运到人工货架等环节。随...
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