用于支撑和对准组件的方法及支撑装置制造方法技术资料下载

技术编号:4145744

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本发明披露了一种用于安装和对准组件的方法,所述组件在多个支撑点以期望定向被支撑在支撑装置内,其中,所述支撑装置的至少一个变形区的弹性变形被记录,并且根据所述至少一个变形区与期望值的某一偏差,使至少一个支撑点垂直地移动;还披露了一种用于执行上述方法的支撑装置,其具有至少一个弹性可变形的变形区,测量装置,用于记录和评估所述至少一个弹性变形,以及至少一个致动器,用于使支撑点彼此垂直地移动。专利说明用于支撑和对准组件的方法及支撑装置[0001]本发明涉及一种用于支...
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