技术编号：4157919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。机械手以及基板搬送装置[0001]本实用新型公开的实施方式涉及机械手以及基板搬送装置。背景技术[0002]以往，已知用于进行对液晶面板的玻璃基板那样的基板的搬送以及相对于收纳盒的取出和放入的基板搬送装置。[0003]所述基板搬送装置具有机械手，所述机械手具备多个叉，将基板载置于所述叉上进行搬送。而且，基板搬送装置将所述叉插入基板的收纳盒(下面，记载为“盒”)内来进行基板的取出和放入。[0004]然而，在所述基板的搬送和取出放入时，存在着由于发生所谓的摩擦带...
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