技术编号：4175581
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于例如光掩模、掩模以及晶圆等易碎装置的存储、运 输、运送以及处理的容器；具体地，本发明涉及保护装置、特别是颗粒控 制装置，该颗粒控制装置包括用于定位并固定掩模的支撑结构，并且具有 使得掩模的环境保持清洁的装置。背景技术在集成电路和其它半导体器件的制造中通常涉及到的其中一个处理 步骤是光刻。广义地讲，光刻包括将专门制备的晶圆表面选择性地暴露于 辐射源，通过使用图案模板来形成蚀刻的表面层。通常，图案模板是掩模， 其是非常平坦的玻璃板，该玻璃板带有将...
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