基片储存盒的制作方法技术资料下载

技术编号:4177407

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本发明涉及一种用于储存和携带一个基片(例如用于制造半导体元件或液晶显示器的光掩模或光掩模胚件)的基片储存盒,具体地说,本发明涉及一种用于依次地储存和携带基片的基片储存盒,该盒甚至可以储存和携带具有一个薄膜的光掩模。相关技术在一种用来依次地储存和携带基片的常规的基片储存盒中,例如,包括通过铰链连接的一个主体和一个盖体,一个分别装在主体和盖体的内表面上用来固定所储存的物品的固定件,主体和盖体相连接部分的外表面应相互齐平,并且铰链和它的啮合部分设置在一个比连接部...
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