技术编号：4177721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及大型护罩(ペリクル)的收纳方法及其收纳结构体，所述收纳方法可以将护罩膜的面积在1000cm2以上的大型护罩以稳定的状态收纳在由托盘和盖子构成的箱体中，所述大型护罩用于防止在制造构成LSI、液晶显示器(LCD)的薄膜晶体管(TFT)和滤色器(CF)等时的光刻工序中所使用的光掩模或标线片上附着异物。背景技术 在以往制造半导体电路图案等过程中，正如在后述专利文献1中记载的那样，通常采用称为护罩的防尘措施来防止异物附着在光掩模或标线片上。护罩的结构如下在...
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