技术编号：4187654
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及物流系统，更具体地说，涉及一种自动物料搬运装置。背景技术自动物料搬运装置已经广泛使用于半导体制造企业。其不仅能提供高度自动化的运输方式，对于整个制造系统的效能具有相当大的影响，还可以有效地利用有限的洁净室生产空间，提高生产设备的利用率，减少在制品量，缩短生产周期时间等。随着自动物料搬运装置搬运量的增长，如何进一步提高搬运效率，是一个迫切的工作。优化半导体领域自动物料搬运装置的调度对于提升半导体制造企业的竞争力而言至关重要。目前的自动物料搬运装...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。