技术编号：4187701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。辅助接片手装置[0001]本实用新型涉及机械制造领域，特别涉及一种辅助接片手装置。背景技术[0002]随着光刻机技术的逐渐成熟，对光刻机内部结构简单化和低经济成本的要求越来越高。如何使光刻机内部结构的简单化以及降低生产成本，已经成为摆在各个光刻机制造商面前必须面对的问题。辅助接片手作为光刻机工件台中一个重要的装置，它主要是辅助主接片手完成将玻璃基板交接到传输机构的任务。[0003]现有的部分光刻机的辅助接片手采用气缸作为动力元件，控制准确度不高，影响传输精...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。