技术编号：4193427
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将半导体曝光用的标线片(reticule)等物品洁净地保 管的洁净储料机、及在其中的保管方法。背景技术在半导体等的曝光中使用标线片，标线片被收纳在晶圆盒(求y 卜)中地被运送于储料机和曝光装置之间。关于标线片的保管，专利 文献1公开有以下内容将保管裸露的标线片的架和保管晶圆盒的架 设置在运送装置的行驶路径的两侧。但是，若如此则可能会因运送装 置的行驶气流而污染标线片。专利文献l日本专利3682170号发明内容本发明的目的为，将多个物品和其容器紧凑...
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