技术编号:4210365
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,具体涉及能够节约工作空间并能提高处理和设备效率的。背景技术 对于例如平板显示器、半导体晶片、液晶显示器和光掩膜玻璃的平板通常都需要进行一系列的处理,例如沉积、蚀刻、去膜、清洁和冲洗处理。这些处理是在一个清洁室中进行的,并且每一种处理具有一个处理区域。图16示出了现有的平板传送系统。用于进行上述处理的处理装置100布置在清洁室R中,以提高处理效率。传送单元110设置在处理装置100上并对应板供给区域120,这样可以将板有效地提供到装置100的板处...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。