带门的晶片运载装置的制作方法技术资料下载

技术编号:4212143

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本发明涉及一种晶片运载装置。尤其涉及一种带有盖或门将晶片封闭在容器中的晶片容器。为了储存和运输,使用了各种方法将晶片封闭在容器中。一些容器中使用了晶片垂直凹槽以及用有弹性的柔性塑料制成的上盖或罩。当使用上盖连接晶片时缚在上盖上的被动垫块将发生偏移。半导体工业已经发展到加工直径大于300毫米的大型晶片,运载装置和运输容器也倾向于将晶片水平放置。装载大晶片所需的大容器使普通被动弹性垫块很难制造和使用。晶片容器具有由门安装框形成的开放的前部和与门安装框尺寸相配的...
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