无触碰抓持工具的制作方法技术资料下载

技术编号:4225720

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本实用新型涉及生产制造,尤其是一种适用于避免接触的情况下将工件 进行抓持或抓持运送的工具。背景技术在半导体和玻璃基板的制造过程中,有许多专门用来抓持这些工件的工具和设 备。以前的工具和设备在抓持操作的过程中会和工件发生触碰,从而导致工件的划伤和静 电的产生,进而产生次品。因此,近年,很多无触碰式的抓持工具和设备被开发并利用于生 产当中。如中国专利申请的“旋流式非接触吸盘”(专利申请公开号CN101264844,公开日2008年9月17日),该吸盘包括杯体、...
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