技术编号：4227275
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基片容器存储系统背景技术将半导体晶片容器存储在半导体制造设施(“fab”)中存在数种方法。大型集中化的储料器能够存储晶片的容器直到它们需要用于处理，在输入端口处从称作自动化材料操纵系统(“AMHS”)的运送系统接收容器。总的来说，自动化材料操纵系统是工厂中在工作台(station)之间以及在工作台与存储位置之间移动工件的任何计算机控制的系统。在制造设施中，自动化材料操纵系统将在处理设备、计量设备和储料器之间移动晶片容器和空容器。当需要处理晶片时，晶片装在容...
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