技术编号:4227319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及空气浮起式基板搬运装置,尤其涉及在装置内使基板旋转的空气浮起式基板搬运装置。背景技术近年来,对液晶面板所使用的玻璃基板等进行处理的装置采用以通过从玻璃基板的下方喷射高压空气来使玻璃基板浮起的状态支撑玻璃基板的空气浮起式基板支撑装置。 作为公开了该基板支撑装置的现有文献,有特开2008-147^3号公报。在特开2008-147^3号公报中记载的基板支撑装置具备X方向移动装置、θ方向旋转装置以及空气浮起装置等。在该基板支撑装置中,将向空气浮起装置提供...
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