技术编号：4229676
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例大体上是关于一种用于真空处理系统的负载锁定室及其操作方法。背景技术目前两种快速发展的为薄膜电晶体及光电装置。由平面面板技术形成的薄膜电晶体(TFT)通常用于主动矩阵显示器，例如电脑及电视屏幕、移动电话显示器、个人数位助理(PDA)及数目渐增的其他装置。一般来说，平面面板包含两片玻璃板，其间夹有一层液晶材料。至少一片玻璃板上包含一导电薄膜，该导电薄膜耦合至一电源。由电源供应给导电薄膜的电力改变晶体材料的定向，产生一图案显示。光电装置(PV)或太...
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