技术编号：4235600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及板式PECVD设备的硅片上下料工装，具体为用于板式PECVD 设备自动上下料系统的进料升降台。背景技术以往板式PECVD设备的硅片上料多是人工直接从硅片盒中将未经PECVD处理的硅片取出，其不仅取片上料效率慢，而且在上料过程中硅片的碎片率高，为了提高上料效率并降低碎片率，目前开始采用自动上下料系统来取代以往纯人工上下料，其中在硅片上料时由进盒输送线将装满未经PECVD处理的硅片运往上料工位，自动取片机构从上料工位的硅片盒中将硅片逐片取出，待硅片全...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。