技术编号:4250972
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种具有清洗功能的工件传输装置,涉及半导体加工制造。该工件传输装置,用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中,所述工件传输装置包括设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件;设置在所述支撑组件上,用于接受工件提供装置提供的工件,并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件;设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件;设置在所述传动组件侧,用于对所述工件进行清洗处理的清洗组件。本发明的技术方案对工件采用传送的方式,另外在...
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