技术编号：4256876
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种纳米薄膜转运工装。使用本发明能够通过把吸附压强控制到低于7Pa(吸附50mg物体)，从而达到提起薄膜并实现转移的目的。本发明的纳米薄膜转运工装，包括中空的结构盒体、气流发生部分、吸头、触膜网板和密封圈，通过气流发生部分在结构盒体内的中空腔体中产生向上或向下的气流，气流通过吸头上镶嵌的触摸网板将纳米薄膜吸附或放下，本发明还可以进一步包括气流调节部分，通过调节气流气压改变吸附力。本发明转运纳米薄膜平稳、可靠，并且保证了薄膜表面的清洁度，避免静电...
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