技术编号:4274194
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型一种磁悬浮小车自动物料搬运系统利用磁悬浮技术实现运行,包括OHT(自动搬运小车)、OHT轨道和OHT传输系统,晶圆在OHT上运行,所述OHT上部设置有悬臂,悬挂在所述OHT轨道上,所述悬臂上安装有磁铁,所述OHT导轨上也安装磁铁,所述悬臂7上安装的磁铁和所述OHT导轨上也安装的磁铁形成所述OHT传输系统,所述OHT传输系统分别为导向系统、推进系统和悬浮系统三大系统;所述导向系统为保证OHT5沿着OHT轨道方向运行;所述推进系统以直线同步电机为动力...
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