技术编号：4279257
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种输送系统。该输送系统(100)具备收纳架(20)，设置于半导体制造装置(60)、(62)的附近，收纳架(20)收纳被输送物(10)；堆垛起重机(30)，在收纳架(20)中进行被输送物(10)的搬入以及搬出；运载装置(40)，输送被输送物(10)；ID标签阅读器(R)，设置于堆垛起重机(30)，ID标签阅读器(R)读取被输送物(10)的ID标签(T)；以及控制器(50)，在通过IT标签阅读器(R)获取的识别信息和被输送物(10)的输送指令所包含...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。