技术编号：4279456
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具备包括可动棚（21）和使可动棚（21）下降的升降装置（22）的基板供给装置（2）；包括向上方吹出气体的一个以上的吹出口（35），且吹出口形成为当通过升降装置使可动棚下降时通过从吹出口吹出的气体的压力使支持于可动棚的基板浮起的结构的浮起装置（3）；和包括搬运输送机（40）和在搬运输送机上竖立设置的爪部（41），且形成为爪部将通过从吹出口吹出的气体的压力浮起的基板（W）向搬运方向推动的结构的搬运装置（4）。专利说明基板搬运系统 [0001]本发明涉及搬...
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