技术编号：4284536
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及空气支承组件，具体来说，涉及用于平基底处理和测量的空气 支承组件。背景技术诸如玻璃基底那样的平基底可能在切割或任何其它处理之后被检査以发现 可能影响空气支承组件上基底质量的应力变形。空气支承组件通常是具有平的 上表面的单块花岗岩。该花岗岩通常很厚以确保获得实心、稳定和平坦的平台。 一般地，希望在基底和空气支承组件的上表面之间施加空气压力(或其它流体) 或形成真空压力。由遍布整个空气支承表面组件设置的空气孔和真空孔的组合 来输送真空压力和空气压力。...
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