技术编号：4287258
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种玻璃基板传递系统及其机械手，该机械手包括基板叉、移动组件、真空吸盘以及散热组件，其中，基板叉用于叉取玻璃基板，移动组件与基板叉连接，用于使得基板叉在工作空间内移动，真空吸盘设于基板叉上，用于吸取玻璃基板，散热组件设于基板叉、移动组件或真空吸盘的侧边，用于在真空吸盘受热且非吸持玻璃基板时移动至真空吸盘上方，以对真空吸盘进行散热。本发明提供的玻璃基板传递系统及其机械手及时对真空吸盘进行降温，避免因真空吸盘过热影响产品质量，提升了产品良率。专利说明...
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