技术编号：4291443
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种光刻板搬移装置，包括平台两侧的滑轨(1)，搬运部件(2)，夹持部件(3)，搬运部件(2)底部两头下端设有卡扣，滑轨(1)上设有卡槽，搬运部件(2)能在滑轨(1)上前后移动。所述夹持部件(3)包括立柱(6)，夹持手臂(7)，所述立柱(6)上有导轨(4)，所述夹持手臂(7)可在导轨(4)上上下移动，搬运部件(2)设有导轨(4)，搬运手臂(5)，搬运手臂(5)能在导轨(4)上上下移动。本发明实现半导体产线光刻板在不同的存储盒子之间非人工接触并简单...
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