技术编号：4304496
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种前开式园片盒，特别是关于一种配置于前开式园片盒的门体中的门闩结构(Latch)。 背景技术半导体园片由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此 会被搬运到不同的工作站。为了方便园片的搬运且避免受到外界的污染， 常会利用一密封容器以供自动化设备输送。请参考图l所示，为公知技术 的园片盒示意图。此园片盒是一种前开式园片盒(Front Opening Unified Pod FOUP)，具有一盒体10及一门体20，盒体10内部设有复数个插...
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