一种管式pecvd手动下料承载盒装置制造方法技术资料下载

技术编号:4307868

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本实用新型公开了一种管式PECVD手动下料承载盒装置,它涉及一种晶硅太阳能电池硅片管式PECVD手动下料承载盒装置,承载盒体设置在底座的上方,所述的承载盒体的底部开有开口,承载盒体的上部三个相邻边设置有挡板,且各个挡板的内侧均设置有内衬,底座的底面上设置有大小不同的五个圆形凹槽。它底部的圆形凹槽有利于手掌托举时紧扣盒体,防止操作过程承载盒滑落,底座为三角形形状,操作的时候人手拿操作盒的时候要与石墨舟倾斜的角度大致相同,减少手腕刻意弯曲所带来的酸痛,其次是将...
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