技术编号：4323017
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造工厂内的晶圆传输盒(Pod),具体地说，涉及 一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。背景技术目前，半导体制造工厂内，晶圆传输盒是主要的晶圓存放传输装置， 一般 可垂直存放25片晶圓。晶圆传输盒面向工作人员的一側安装有电子标签(tag) 和以及存放纸标签的塑料的标签袋。电子标签用于记录晶圆传输盒内各种信息， 包括晶圆尺寸、用途、批号以及需要执行的工序等等。 一些无法输入电子标签 中的信息，则采用手写的方式记录在标签袋中的纸标...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。