技术编号：4336521
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，涉及用于移送例如液晶显示器或等 离子体显示器、或者有机EL、FED、SED等平板显示器(FPD)用的玻璃基板的设备及移送方法。背景技术在这种移送设备中，以往使用多轴垂直多关节机器人或多轴水平多关节机器人等 的通用的多自由度机器人臂。由于玻璃板容易破损，因此手动作业难以操作，另外，作业者 搬运IOOOmmX IOOOmm以上的大型的玻璃板是极其困难的。进而，由于涉及上述用途的玻璃 板要求高的净化等级(洁净度)，因此存在避免使有机物等产生灰尘的作业...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。