技术编号：4339407
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术在流化床反应器中制备多晶硅颗粒时，在过程进行中需要以均勻的间隔或者连续 地将硅材料按计量加入反应器中，并在其他位置从反应器取出最终生长的颗粒。为此，在制备过程中通常使用简单的开关配件，例如滑阀。为了避免污染高纯硅， 在此通常使用由硅材料制成的滑阀。但是此处的缺点是由硅颗粒的磨蚀性导致所述滑阀的 磨损度高。因此，该配件必须以短的周期进行替换。所述滑阀的另一个缺点是倾向于堵塞。在此情况下，必须分别关闭每个装置以手 动去除配件中的阻塞物。此...
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