技术编号：4343798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械手的驱动装置，具体讲就是可以保持并移动半导体晶片、液晶显示器及等离子显示器用玻璃基板等薄型基板的、机械手的驱动装置。并且，装有现有的翻转机构32的机器人，通过如附图说明图17所示的，使机械手6在臂4、5向前伸展的状态下翻转，或者通过如图18所示的，将机械手6设置在与第一臂5充分分开的较高位置上，来避免在机械手6翻转时，薄型基板8与臂4、5发生干涉。然而，前者存在将机械手的轨迹(机器人的公称旋转范围)扩大化的问题，后者存在基板路径线(パスライン...
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