升降装置的制作方法技术资料下载

技术编号:4343803

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本发明涉及升降装置,具体的是涉及能够组装在搬送半导体晶片、液晶显示屏、等离子体显示屏用的玻璃基板等基板的机器人上的升降装置。背景技术 基板搬送机器人为了调节保持基板的手的高度位置具有升降装置。作为现有的升降装置的一个示例,下述构成的升降装置被公众所知。它包括马达、垂直的滚珠丝杠轴部和滚珠丝杠螺母部,该滚珠丝杠轴部与该马达的旋转连动地旋转,该滚珠丝杠螺母部与此滚珠丝杠轴部啮合,与滚珠丝杠螺母部的升降动作连动地使手升降。另外,作为现有的升降装置其他的示例,采用...
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