技术编号:4345649
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在尘埃少的洁净环境中,保管例如液晶显示元件和半导体制品等物品用的保管设备。更具体地说,是涉及设在从天花板部向下方吹出空气的下流式净室中的物品保管设备的改进。背景技术 净室用的物品保管设备具有输送物品的输送机构,该输送机构用于将液晶显示元件和半导体制品等物品搬入多个物品存放部,并且为了将保管在物品存放部内的物品输送到外部,配置了可进行物品输送的物品输送机构。现有装置,为了有效利用所配备的该物品输送机构,有的将物品处理装置靠近物品输送机构设置,以便能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。