技术编号：4345953
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关于一种卡匣结构，特别是指一种用来放置及清洗晶圆或玻璃基 板的卡匣，该卡匣结构可以增加晶圆或基板清洗面积的装置。背景技术目前，晶圆或玻璃基板制成之后，基于后续工艺及搬运上的需要，会将工艺后的单 片晶圆或玻璃基板，以机械手臂或人力夹取并放置于一具有容置空间的卡匣内，一个卡匣 通常可容纳多个晶圆或玻璃基板，而将所述晶圆或玻璃基板整齐排列于卡匣中，以方便清 洁大量的晶圆或玻璃基板。请参阅图IA所示，其是为先前技术卡匣的立体结构组合示意图。先前技术中...
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