技术编号:4354008
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种叠层基板的输送装置,特别涉及一种把通过上部输送机构输送的基板很容易地输送到下部输送机构的叠层基板输送装置。背景技术 一般情况下,应用于平板显示器(FPDFlat Panel Display)、半导体基板、LCD、光掩模用玻璃等领域的基板,要经过一系列的处理流程,进行蚀刻、剥离、清洗等工序后,进行清洗。对上述的基板进行处理和清洗时,为了向各道工序传送基板,必须使用输送装置。上述基板输送装置的结构有多种多样,但目前通常采用的是水平接收/供应基板的...
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