化学气相沉积处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:4357427

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本申请涉及化学气相沉积处理装置,尤其涉及具有化学气相沉积反应器的化学气相沉积处理装置。背景技术 中空塑料容器,例如塑瓶,通常具有的对气体的阻隔作用对于预期目的来说是不够的。例如二氧化碳等气体可以扩散到容器外或者容器内部。通常不希望有这种影响。此外,这种影响还导致储存在这些容器里的饮料的保存期缩短为了消除塑料容器的这些缺点,同时保留它们相对说来的许多优点,例如低重量和对于机械冲击的稳定性,已开发出应用阻隔层或抗扩散层的技术。用来涂布这些涂层的具体有效和廉价的...
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