技术编号：4358247
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及保持并输送板状物的板状物输送装置以及安装在板状物输送装置上的间隙限制部件。背景技术 在加工板状物的过程中，从一个工序向另一个工序移动时，或在一个工序的中途，需要保持、输送板状物。并且输送例如半导体晶片那样薄的板状物的板状物输送装置中，为了在保持时缓和对板状物的撞击、防止损伤，使用缓冲部件(参照例如专利文献1、专利文献2)。专利文献1特开平8-55896号公报(第3页、第2图)专利文献2特开2000-106390号公报(第5页、第3图)例如专利文献...
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