技术编号：4362126
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文所公开的实施方式涉及搬运机器人。背景技术传统上，可利用有一种搬运机器人，该搬运机器人通过利用臂单元搬运真空室内的处理前的基板或处理后的基板以用于执行成膜处理等。在搬运机器人用来搬运例如经受成膜处理的基板的情况下，存在搬运机器人可能会由热基板加热的可能性。在这点上，已经提出一种搬运机器人，该搬运机器人包括散热器板，该散热器板设置在臂单元的基端部处从而借助热传导将从基板传递的热量传送通过臂单元；以及受热板，该受热板以与散热器板对置的关系设置在真空室内的特定...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。