技术编号：4362467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文所讨论的实施方式涉及搬运系统。背景技术已知的搬运系统利用机器人手搬运基板(诸如半导体晶片)，该机器人手(下文中称为“手”)设置在多轴机器人的臂的远端部处以保持基板。这种搬运系统用于例如半导体制造过程，以用于将基板搬运到例如应用于清洁、沉积和光刻过程的各种类型的处理设备并且从各种类型的处理设备搬运基板(例如，参见日本专利申请特开N0.2008-28134)。注意到，基板暴露于例如高温加热或过度冷却环境并且常常被放置在异常温度以及正常温度条件下。考虑到来自...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。